Λύσεις για Καθαρούς Χώρους στη Βιομηχανία Ημιαγωγών και Ηλεκτρονικών

Μοναδικές Απαιτήσεις και Πρότυπα​

• Απαιτήσεις ακραίας καθαριότητας: Κυριαρχούνται από βαθμίδες ISO 5-7 (Class 100-10.000), με προηγμένες περιοχές συσκευασίας που απαιτούν ISO 4 (Class 10) για τον έλεγχο σωματιδίων ≥0.1μm.​

• Πολυδιάστατος έλεγχος: Ταυτόχρονη διαχείριση θερμοκρασίας (20-24℃±0.1℃), υγρασίας (40-50%±2%), δόνησης (≤50μm/s) και στατικού ηλεκτρισμού (≤100V).​

• Διεθνή πρότυπα: Πρέπει να συμμορφώνονται με τα SEMI S2, ISO 14644 και GMP για ηλεκτρονικά, με αυστηρές απαιτήσεις απομόνωσης διεργασιών μεταξύ διαφορετικών σταδίων παραγωγής.​

Βασικές Λύσεις​

Σύστημα Καθαρισμού Αέρα​

• Ιεραρχία φιλτραρίσματος: Προ-φίλτρο (G4) + φίλτρο μέσης απόδοσης (F9) + φίλτρο υπο-υψηλής απόδοσης (H13) + τελικό φίλτρο ULPA (99.999% απόδοση για σωματίδια ≥0.12μm).​

• Σχεδιασμός ροής αέρα: Πλήρης κάλυψη μονόδρομης ροής (0.45m/s±20%) σε βασικές περιοχές, με ρυθμούς αλλαγής αέρα έως και 500 φορές/ώρα.​

• Έλεγχος πίεσης: Διαφορά πίεσης κλίσης (≥5Pa μεταξύ γειτονικών ζωνών) για την αποφυγή διασταυρούμενης μόλυνσης.​

Μέτρα Ελέγχου Μόλυνσης​

• Διαχείριση υλικών: Αεροφράγματα για εισερχόμενα υλικά, ειδικές διαδικασίες αποσυσκευασίας και καθαρισμού και εξαιρετικά καθαρό νερό (18.2MΩ·cm) με TOC ≤10ppb.​

• Επεξεργασία επιφανειών: Συγκολλημένοι τοίχοι από ανοξείδωτο χάλυβα (304/316L), δάπεδα από PVC χωρίς ραφές και στεγανωτικά χωρίς σιλικόνη.​

• Χημικός έλεγχος: Τοπικά συστήματα εξαγωγής για διεργασίες χάραξης, με απόδοση απομάκρυνσης όξινων αερίων ≥99%.​

Στρατηγικές Λειτουργίας Lean​

• Έξυπνη παρακολούθηση: Μετρητές σωματιδίων σε πραγματικό χρόνο, αισθητήρες θερμοκρασίας/υγρασίας και κεντρικά συστήματα ελέγχου που βασίζονται στο IoT.​

• Βελτιστοποίηση ενέργειας: Μονάδες ανάκτησης θερμότητας (εξοικονόμηση ενέργειας ≥30%), ανεμιστήρες μεταβλητής συχνότητας και φωτισμός καθαρού δωματίου LED.​

• Πρωτόκολλα συντήρησης: Τριμηνιαίος έλεγχος ακεραιότητας φίλτρων HEPA/ULPA, μηνιαία επαλήθευση ταχύτητας ροής αέρα και ετήσια ολοκληρωμένη επικύρωση απόδοσης.​

Μελλοντικές Τάσεις​

• Μικρογραφία: Ανάπτυξη προς καθαρά δωμάτια ISO 3 (Class 1) για προσαρμογή σε κόμβους διεργασιών 3nm και μικρότερους.​

• Πράσινη καινοτομία: Υιοθέτηση υλικών χαμηλής πτητικότητας (VOC) και ενσωμάτωση ανανεώσιμων πηγών ενέργειας.​

• Ψηφιακός μετασχηματισμός: Προγνωστική συντήρηση με τεχνητή νοημοσύνη και ψηφιακά δίδυμα για εικονική θέση σε λειτουργία.​

Τα καθαρά δωμάτια ημιαγωγών απαιτούν μια ισορροπία ακραίας καθαριότητας, σταθερότητας διεργασιών και λειτουργικής απόδοσης. Με την ενσωμάτωση προηγμένης τεχνολογίας φιλτραρίσματος, ακριβούς περιβαλλοντικού ελέγχου και έξυπνων συστημάτων διαχείρισης, αυτές οι κρίσιμες εγκαταστάσεις υποστηρίζουν την παραγωγή ηλεκτρονικών εξαρτημάτων υψηλής απόδοσης.