Λύσεις για Καθαρούς Χώρους στη Βιομηχανία Ημιαγωγών και Ηλεκτρονικών

• Εξαιρετικές απαιτήσεις καθαριότητας: Κυριαρχείται από τα επίπεδα ISO 5-7 (κατηγορία 100-10.000), με προηγμένες περιοχές συσκευασίας που απαιτούν ISO 4 (κατηγορία 10) για τον έλεγχο σωματιδίων ≥ 0,1μm.
• Πολυδιάστατος έλεγχος: Ταυτόχρονα διαχειρίζεται τη θερμοκρασία (20-24°C±0,1°C), την υγρασία (40-50%±2%), τις δονήσεις (≤50μm/s) και τον στατικό ηλεκτρισμό (≤100V).
• Διεθνή πρότυπα: Πρέπει να συμμορφώνεται με το SEMI S2, ISO 14644 και GMP για τα ηλεκτρονικά, με αυστηρές απαιτήσεις απομόνωσης της διαδικασίας μεταξύ των διαφόρων σταδίων παραγωγής.

• Ιεραρχία διήθησης: Προφίλτρο (G4) + φίλτρο μεσαίας απόδοσης (F9) + φίλτρο χαμηλής απόδοσης (H13) + τερματικό φίλτρο ULPA (99,999% απόδοση για σωματίδια ≥ 0,12μm).
• Σχεδιασμός ροής αέρα: Πλήρης κάλυψη μονοκατευθυνόμενης ροής (0,45m/s±20%) σε κεντρικές περιοχές, με ρυθμούς αλλαγής αέρα έως 500 φορές/ώρα.
• Ρυθμισμός πίεσης: Διαφορά πίεσης κλίσης (≥ 5Pa μεταξύ γειτονικών ζωνών) για την αποφυγή της διασταυρούμενης μόλυνσης.

• Διαχείριση υλικών: αεροθάλαμοι για εισερχόμενα υλικά, ειδικές διαδικασίες ξεπακετάσματος και καθαρισμού, και υπερκαθαρό νερό (18,2MΩ·cm) με TOC ≤10ppb.
• Επεξεργασία επιφάνειας: Ζυγισμένοι τοίχοι από ανοξείδωτο χάλυβα (304/316L), αδιάβροχα δάπεδα PVC και σφραγιστικά χωρίς σιλικόνη.
• Χημικός έλεγχος: Τοπικά συστήματα εξάτμισης για διαδικασίες χαρακτικής, με αποδοτικότητα αφαίρεσης οξέων αερίων ≥99%.

• Ευφυής παρακολούθηση: Μετρητές σωματιδίων σε πραγματικό χρόνο, αισθητήρες θερμοκρασίας/υγρασίας και κεντρικά συστήματα ελέγχου που βασίζονται στο IoT.
• Βελτιστοποίηση ενέργειας: μονάδες ανάκτησης θερμότητας (ηλεκτρική εξοικονόμηση ≥ 30%), ανεμιστήρες μεταβλητής συχνότητας και φωτισμός καθαρών δωματίων με LED.
• Πρωτόκολλα συντήρησης: Τρίμηνη δοκιμή ακεραιότητας φίλτρων HEPA/ULPA, μηνιαία επαλήθευση της ταχύτητας ροής αέρα και ετήσια ολοκληρωμένη επικύρωση της απόδοσης.

• Μινιατουρισμός: Ανάπτυξη προς τα καθαρά δωμάτια ISO 3 (Τάξη 1) για προσαρμογή σε κόμβους διεργασίας 3nm και μικρότερους.
• Πράσινη καινοτομία: Υιοθέτηση υλικών με χαμηλά επίπεδα VOC και ενσωμάτωση ανανεώσιμων πηγών ενέργειας.
• Ψηφιακή μετατροπή: Προβλεπτική συντήρηση με βάση την τεχνητή νοημοσύνη και ψηφιακά δίδυμα για εικονική λειτουργία.

Τα καθαρά δωμάτια των ημιαγωγών απαιτούν μια ισορροπία ακραίας καθαρότητας, σταθερότητας της διαδικασίας και λειτουργικής αποδοτικότητας.και έξυπνα συστήματα διαχείρισης, οι εγκαταστάσεις αυτές υποστηρίζουν την παραγωγή ηλεκτρονικών εξαρτημάτων υψηλών επιδόσεων.