Τελευταία υπόθεση εταιρείας για Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Πιστοποιητικά

Σε βιομηχανίες υψηλού επιπέδου όπως η παραγωγή ημιαγωγών, η βιοϊατρική και η ηλεκτρονική ακριβείας, η περιβαλλοντική σταθερότητα καθαρού δωματίου καθορίζει άμεσα την απόδοση του προϊόντος, τη συνέπεια της διαδικασίας,και την αξιοπιστία της έρευνας.

Για να ανταποκριθούν στις αυξανόμενες απαιτήσεις ελέγχου, ηΜΑU + FFU + DCC (Μονάδα αερισμού + Μονάδα φίλτρου ανεμιστήρα + Μονάδα στεγνής σπείρας)Το σύστημα αυτό επιτυγχάνει ακριβή έλεγχο της ατμόσφαιρας μέσω της διαφόρων στρωμάτων επεξεργασίας αέρα και του ευφυούς συντονισμού.θερμοκρασία, υγρασία, καθαρότητα και πίεση, βελτιώνοντας σημαντικά την ενεργειακή απόδοση και την επιχειρησιακή ευελιξία.Αυτό το άρθρο εξηγεί συστηματικά τις βασικές τεχνολογίες ελέγχου πίσω από το σύστημα MAU + FFU + DCC και δείχνει πώς ο πολυδιάστατος συντονισμός δημιουργεί μια σταθερή, υψηλής απόδοσης περιβάλλον καθαρού δωματίου.

Το σύστημα MAU + FFU + DCC υιοθετείιεραρχική στρατηγική επεξεργασίας αέρα, όπου κάθε υποσύστημα εκτελεί ειδική λειτουργία:

• Αρχική ρύθμιση θερμοκρασίας και υγρασίας
• Πολυεπίπεδη διήθηση G4 + F8
• Σταθερή παροχή κλιματισμένου εξωτερικού αέρα

• Φιλτράρισμα HEPA ή ULPA
• Μονόκατο εφοδιασμό της ροής αέρα
• Υποστηρίζει περιβάλλοντα κλάσης ISO 5 έως ISO κλάσης 1

• Τοπική κούρεμα θερμοκρασίας
• Γρήγορη αντιστάθμιση θερμικών φορτίων εξοπλισμού
• Διασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας του δωματίου

Μαζί, αυτόΠροεπεξεργασία → Καθαρισμός → Λεπτός έλεγχος"Η αρχιτεκτονική παρέχει μεγαλύτερη ακρίβεια, ευελιξία και ενεργειακή απόδοση από τα παραδοσιακά κεντρικά συστήματα HVAC.

Οι διακυμάνσεις θερμοκρασίας αποτελούν κρίσιμο κίνδυνο στην κατασκευή ακριβείας.0.1°Cμπορεί να επηρεάσει την ευθυγράμμιση του μοτίβου.

Το σύστημα MAU + FFU + DCC επιτυγχάνει έλεγχο θερμοκρασίας πολλαπλών επιπέδων:

ΕΠΕ ∆ιαρχικός κανονισμός

• Προσαρμοστικός έλεγχος PID των τροχών θέρμανσης και ψύξης
• Σταθερότητα θερμοκρασίας καθαρού αέρα εντός±0,5°C
• Δυναμική ανταπόκριση σε αλλαγές φορτίου

FFU Ω βελτιστοποίηση της ροής αέρα

• Ενιαία διάταξη μήτρας
• Τυπική ταχύτητα προσώπου:00,3 ∆0,5 m/s
• Μειώνει τη θερμική στρωματοποίηση και τα τοπικά σημεία θερμότητας

DCC ∆ανεισμός θερμότητας σε πραγματικό χρόνο

• Στόχοι θερμότητα από εργαλεία λιθογραφίας, βιοαντιδραστήρες, εξοπλισμό χαρακτικής
• Ρυθμίζει την ροή του ψυχρού νερού άμεσα
• Διατηρεί την ομοιομορφία της θερμοκρασίας του δωματίου εντός±0,2°C

Αναφορά υπόθεσης
Ένα 12 ιντσών ημιαγωγός fab επιτεύχθηκε±0,1°CΗ σταθερότητα του δωματίου μετά την εφαρμογή συντονισμένου ελέγχου MAU·DCC, βελτιώνοντας την απόδοση της λιθογραφίας κατά περίπου3%.

Η υγρασία επηρεάζει άμεσα την ηλεκτροστατική εκκένωση, τη διάβρωση, την ανάπτυξη μικροβίων και τη σταθερότητα της διαδικασίας.

MAU ∆ιορθώστε την κύρια υγρασία

• Υγραντήρες ατμού ή ηλεκτροδίων
• Κοντενσάνωση ή περιστροφική αφυδάτωση
• Ακριβότητα ελέγχου έως± 2% RH

Παράδειγμα:Τα εργαστήρια κατάψυξης συνήθως απαιτούν30~40% RHγια την αποτροπή της απορρόφησης υγρασίας.

ΑΕΠ ∆ιανομή ομοιόμορφη

• Εξαλείφει τις στάσιμες ζώνες και τις νεκρές γωνίες
• Αποτρέπει την τοπική συσσώρευση υψηλής υγρασίας

Συντονισμός MAU + DCC

• Η MAU ελέγχει την απόλυτη υγρασία
• Το DCC ρυθμίζει τη θερμοκρασία της τροχιάς
• Διατηρείται θερμοκρασία επιφάνειας κυλίνδρου1°2°C πάνω από το σημείο δροσιάςγια την αποφυγή συμπύκνωσης

Η καθαριότητα παραμένει ο βασικός δείκτης απόδοσης κάθε καθαρού δωματίου.

Προφίλτραση MAU

• Πρωταρχικό φίλτρο G4
• Φίλτρο μέσης απόδοσης F8
• Απομακρύνει τα μεγάλα σωματίδια και προστατεύει τη διάρκεια ζωής της FFU

Τερματικό φιλτράρισμα FFU

• HEPA: ≥ 99,97% @ 0,3 μm
• ULPA: ≥ 99,999% @ 0,12 μm
• Υποστηρίζει την κατηγορία ISO 5 και υψηλότερη

Οργάνωση της ροής αέρα

• Βιότοπη μονοκατευθυνόμενη ροή
• Καλυψη FFU:60% 100%
• Δημιουργεί μια σταθερή επίδραση έμβολο, σπρώχνοντας ρύπους προς την επιστροφή πλέγματα αέρα

Αναφορά απόδοσης
Σε00,45 m/sταχύτητα ροής αέρα, η συγκέντρωση σωματιδίων ≥ 0,5 μm μπορεί να μειωθεί σε
< 35 σωματίδια/ft3 (κλάση ISO 5).

Η θετική πίεση εξασφαλίζει ότι οι καθαρές περιοχές παραμένουν προστατευμένες από εξωτερική μόλυνση.

Έλεγχος όγκου καθαρού αέρα (MAU)

• Οι αισθητήρες διαφορικής πίεσης παρακολουθούν την πίεση του δωματίου
• Τυπική διαφορά πίεσης:10 ̊30 Pa

Ιεραρχική ζώνη

• Μεταξύ των περιοχών της κατηγορίας ISO 5 και της κατηγορίας ISO 7
• Διάβλημα πίεσης:5·10 Pa

Προστασία σε περίπτωση έκτακτης ανάγκης

• Αυτόματοι συναγερμοί που ενεργοποιούνται από πτώση πίεσης
• Εφεδρικοί ανεμιστήρες ενεργοποιούνται αμέσως.
• Προλαμβάνει τη μόλυνση σε μη φυσιολογικές συνθήκες

Τα σύγχρονα συστήματα MAU + FFU + DCC ενσωματώνουν έξυπνη αυτοματοποίηση για ακρίβεια και αποτελεσματικότητα.

• Παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο 30+ παραμέτρων
• Ανάλυση τάσεων και αποθήκευση ιστορικών δεδομένων
• Κεντρική απεικόνιση συστήματος

Όταν ένα εργαλείο υψηλού φορτίου αρχίζει να λειτουργεί, το σύστημα:

• Αύξηση της χωρητικότητας της τροχιάς ψύξης
• Ενισχύει την έξοδο DCC
• Επαναφέρει την περιβαλλοντική σταθερότητα εντός10 δευτερόλεπτα

Συνεχή παρακολούθηση:

• Στροφή κινητήρα FFU
• πτώση πίεσης φίλτρου
• Δυναμικότητα περιστροφής DCC

Επιτρέπει την έγκαιρη ανίχνευση:

• Μηχανική γήρανση
• Αποφραγμός φίλτρου
• Ασυνήθιστη αντίσταση της ροής αέρα

Η βελτιστοποίηση με βάση την τεχνητή νοημοσύνη ρυθμίζει:

• Εργασιακή ποσότητα FFU
• Αναλογία καθαρού αέρα
• Αντιστοίχιση φορτίου θερμοκρασίας και υγρασίας

Με αποτέλεσμα:20~30% εξοικονόμηση ενέργειας, ειδικά σε μεγάλα εργοστάσια ημιαγωγών.

• ΑΕΠ:δοκιμές μετατροπέα, αντίσταση φίλτρου, ανταπόκριση T/H
• ΕΠΕ:ομοιόμορφη ροή αέρα (± 10%), δοκιμή διαρροής HEPA, θόρυβος ≤ 65 dB
• Επικεφαλής:ακρίβεια ροής νερού (± 5%), επαλήθευση της ανταλλαγής θερμότητας

• Συγκριτικές ακραίες συνθήκες
• Μετρητές σωματιδίων υψηλής ακρίβειας (0,1 μm)
• 50+ σημεία παρακολούθησης με καταγραφή 10 δευτερολέπτων

• Εναλλακτικός έλεγχος FFU κατά τη λειτουργία μερικού φορτίου
• Τυπικοί κύκλοι αντικατάστασης φίλτρων:
  • Πρωτοβάθμια: 1 ∆3 μήνες
  • Μέσος όρος: 6-12 μήνες
  • HEPA: 2·3 έτη

ΗΔΕΠ + ΔΕΠ + ΔΕΠΤο σύστημα καθαρών δωματίων αντιπροσωπεύει μια μετάβαση από τη βασική συμμόρφωση σε έξυπνο, αδύναμο περιβαλλοντικό έλεγχο.

Μέσω συντονισμένης διαχείρισης της θερμοκρασίας, της υγρασίας, της καθαριότητας,και πίεση ∆εδομένη από προηγμένη αυτοματοποίηση και προβλέψιμη ανάλυση ∆ημιουργεί τη σταθερότητα και την ακρίβεια που απαιτούνται για την κατασκευή ημιαγωγών, τη βιοτεχνολογία και άλλες εφαρμογές υψηλού επιπέδου.

Ως επαγγελματίας πάροχος λύσεων μηχανικής καθαρού δωματίου, προσφέρουμε:

• Σχεδιασμός συστήματος
• Επιλογή εξοπλισμού
• Τεχνική ολοκλήρωση ελέγχου
• Εγκατάσταση και βελτιστοποίηση
• Υποστήριξη πλήρους κύκλου ζωής

Αν σχεδιάζετε ή αναβαθμίζετε ένα καθαρό δωμάτιο υψηλής ακρίβειας, η ομάδα μηχανικών μας είναι έτοιμη να σας βοηθήσει να επιτύχετεΠαγκόσμιας κλάσης επιδόσεις περιβαλλοντικού ελέγχου.