logo
Σπίτι >

Τελευταία υπόθεση εταιρείας για Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Πιστοποιητικά

Τεχνολογίες ελέγχου του συστήματος MAU + FFU + DCC σε καθαρά δωμάτια

2024-12-12

Τελευταία υπόθεση εταιρείας για Τεχνολογίες ελέγχου του συστήματος MAU + FFU + DCC σε καθαρά δωμάτια
Σε βιομηχανίες υψηλού επιπέδου όπως η κατασκευή ημιαγωγών, η βιοϊατρική και η ηλεκτρονική ακριβείας,ο έλεγχος των περιβαλλοντικών παραμέτρων στα καθαρά δωμάτια επηρεάζει άμεσα την ποιότητα του προϊόντος και την αξιοπιστία των αποτελεσμάτων της επιστημονικής έρευναςΤο σύστημα MAU (Make-up Air Unit) + FFU (Fan Filter Unit) + DCC (Dry Coil Unit), ως η κύρια λύση καθαρισμού αέρα για καθαρά δωμάτια,έχει καταστεί βασικό μέσο υποστήριξης για την επίτευξη αυστηρών καθαρών περιβάλλοντων λόγω των ευέλικτων και αποτελεσματικών χαρακτηριστικών ελέγχουΤο άρθρο αυτό θα ερευνήσει τις βασικές τεχνολογίες ελέγχου αυτού του συστήματος, αποκαλύπτοντας πώς δημιουργεί έναν σταθερό και ακριβή καθαρό χώρο μέσω πολυδιάστατων συνεργατικών λειτουργιών.
Ι. Σύνοψη του συστήματος MAU + FFU + DCC
Το σύστημα MAU + FFU + DCC είναι ένα ολοκληρωμένο σύστημα επεξεργασίας και κυκλοφορίας αέρα, όπου κάθε στοιχείο εκτελεί τις ειδικές του λειτουργίες ενώ συνεργάζεται απρόσκοπτα:
ΑΕΠείναι υπεύθυνη για την προεπεξεργασία του καθαρού αέρα, συμπεριλαμβανομένης της ρύθμισης της θερμοκρασίας και της υγρασίας, της πρωτογενούς φιλτραρίσματος και της παροχής καθαρού αέρα·
FFU,ως πυρήνας του τελικού σταδίου καθαρισμού, εξασφαλίζει τον έλεγχο των σωματιδίων σε καθαρές περιοχές μέσω υψηλής απόδοσης διήθησης και κατευθυνόμενης παροχής αέρα·
ΔΕΣρυθμίζει με ακρίβεια τα αισθητά θερμικά φορτία εσωτερικού χώρου για τη διατήρηση της ομοιομορφίας του πεδίου θερμοκρασίας.
This architecture of "fresh air preprocessing + end-stage purification + sensible heat fine-tuning" not only meets the cleanroom's demand for fresh air but also achieves refined management of environmental parameters through hierarchical control, προσφέροντας καλύτερη ενεργειακή απόδοση και ευελιξία σε σύγκριση με τα παραδοσιακά κεντρικά συστήματα κλιματισμού.
τελευταία εταιρεία περί Τεχνολογίες ελέγχου του συστήματος MAU + FFU + DCC σε καθαρά δωμάτια  0
ΙΙ. Κεντρικά σημεία ελέγχου συστήματος
(Ι) Ελέγχος της θερμοκρασίας: Ρυθμισμός ακρίβειας μέσω συνεργασίας με πολλαπλές ενότητες
Οι διακυμάνσεις θερμοκρασίας είναι ένας κρίσιμος παράγοντας που επηρεάζει την κατασκευή ακριβείας, για παράδειγμα, στις διεργασίες λιθογραφίας ημιαγωγών, μια διαφορά θερμοκρασίας 0.1°C μπορεί να προκαλέσει αποκλίσεις στη μεταφορά του μοτίβου των τσιπΤο σύστημα MAU + FFU + DCC επιτυγχάνει ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας μικροεπίπεδου μέσω συνεργατικού ελέγχου τριών επιπέδων:
Βασικός έλεγχος της θερμοκρασίας με MAU:υιοθετεί έναν προσαρμοστικό αλγόριθμο PID για τη δυναμική ρύθμιση της ροής νερού ή της ροής ψυκτικού των τροχών θέρμανσης/ψύξης με βάση την ανατροφοδότηση θερμοκρασίας σε πραγματικό χρόνο στο καθαρό δωμάτιο,σταθεροποίηση της θερμοκρασίας του καθαρού αέρα εντός της οριζόμενης περιοχής (συνήθως με ακρίβεια ±0.5°C) ·
Άμεση ρύθμιση από την FFU:Αν και δεν εμπλέκεται άμεσα στον έλεγχο της θερμοκρασίας, η κατανομή του όγκου του αέρα επηρεάζει την οργάνωση της εσωτερικής ροής αέρα.Με τη βελτιστοποίηση της διάταξης FFU (όπως η ομοιόμορφη διάταξη τύπου μήτρας) και των ρυθμίσεων ταχύτητας του ανέμου (συνήθως 0.3-0.5m/s), μπορούν να μειωθούν οι τοπικές κλίμακες θερμοκρασίας·
Λογική αντιστάθμιση θερμότητας από DCC:Επικεντρώνοντας τις τοπικές πηγές θερμότητας που παράγονται από τη λειτουργία του εξοπλισμού (όπως οι μηχανές λιθογραφίας και οι βιοαντιδραστήρες), η αντιστάθμιση σε πραγματικό χρόνο των αισθητών θερμικών φορτίων επιτυγχάνεται με τη ρύθμιση της ροής του ψυγμένου νερού,διασφάλιση ότι το σφάλμα ομοιόμορφης θερμοκρασίας σε καθαρές περιοχές είναι ≤±0.2°C.
Υπόθεση εφαρμογής:Στο εργαστήριο λιθογραφίας ενός εργοστασίου πλακιδίων 12 ιντσών, μέσω του ελέγχου σύνδεσης του MAU και του DCC, οι διακυμάνσεις θερμοκρασίας περιορίζονται αυστηρά εντός ± 0,1 °C, βελτιώνοντας την απόδοση του τσιπ κατά περίπου 3%.
(ΙΙ) Ελέγχος της υγρασίας: Εξισορρόπηση της αντισυμπύκνωσης και της σταθερότητας της διαδικασίας
Η υψηλή υγρασία μπορεί να προκαλέσει διάβρωση του εξοπλισμού, ενώ η χαμηλή υγρασία μπορεί να οδηγήσει σε στατικό ηλεκτρισμό.
Κύρια λειτουργία ρύθμισης του MAU:Ενσωματώνει μονάδες υγρασίας ατμού/ηλεκτροδίων και μονάδες αποτρύπανσης συμπύκνωσης/στροφής, αλλάζοντας αυτόματα τις λειτουργίες με βάση την υγρασία σε πραγματικό χρόνο (με ακρίβεια ± 2% RH).σε φαρμακευτικά εργαστήρια κατάψυξης, η υγρασία πρέπει να σταθεροποιείται στο 30-40% RH για να αποφευχθεί η απορρόφηση υγρασίας του φαρμάκου.
Βοηθητική κατανομή των ενιαίων ενδυμάτων ανά FFU:Εξάλειψη των τοπικών περιοχών υψηλής υγρασίας μέσω της κυκλοφορίας του αέρα, ιδίως στις γωνιακές περιοχές των καθαρών χώρων, για την αποφυγή της ανάπτυξης μικροβίων που προκαλείται από την άνιση υγρασία.
Λογική ελέγχου σύνδεσης:Όταν η ΜΑΑ ανιχνεύσει ότι η υγρασία αποκλίνει από την καθορισμένη τιμή, ρυθμίζει πρώτα την υγρασία του καθαρού αέρα,και DCC θα συνεργαστούν για τη μείωση της θερμοκρασίας της επιφάνειας του κυλίνδρου (πρέπει να είναι 1-2 °C υψηλότερη από το σημείο δροσιάς για να αποφευχθεί η συμπύκνωση), σχηματίζοντας έναν κλειστό έλεγχο.
(ΙΙΙ) Διαχείριση καθαριότητας: Φιλτράρισμα πλήρους διαδικασίας από την πηγή μέχρι το τέλος
Η καθαριότητα είναι ο βασικός δείκτης των καθαρών χώρων, ο οποίος πρέπει να επιτευχθεί μέσω ιεραρχικής διήθησης και οργάνωσης της ροής αέρα:
Προεπεξεργασία από MAU:Χρησιμοποιεί φίλτρα μέσης απόδοσης G4 και F8 για την αφαίρεση σωματιδίων PM10 και άνω στον καθαρό αέρα, μειώνοντας τον φόρτο στο τελικό στάδιο φίλτρωσης·
Καθαρισμός τελικού σταδίου με FFU:Εφοδιασμένα με φίλτρα HEPA (αποτελεσματικότητα διήθησης ≥ 99,97% για σωματίδια 0,3μm) ή ULPA (αποτελεσματικότητα διήθησης ≥ 99,999% για σωματίδια 0,12μm),διασφάλιση ότι ο αέρας που τροφοδοτείται σε καθαρές περιοχές πληροί τα πρότυπα της κατηγορίας ISO 5 (κατηγορία 100) ή υψηλότερα;
Βελτιστοποίηση της οργάνωσης της ροής αέρα:Φτιάχνει κατακόρυφη μονοκατευθυντική ροή μέσω ομοιόμορφης διάταξης των FFU (το ποσοστό κάλυψης είναι συνήθως 60-100%), "εκπιέζοντας" τους ρύπους από καθαρές περιοχές,και συνεργάζεται με το σχεδιασμό εξόδου αέρα επιστροφής για να επιτευχθεί ένα "φαινόμενο έμβολο" και να αποφευχθούν νεκρές ζώνες ροής αέρα.
Αναφορά δεδομένων: Στα καθαρά δωμάτια ηλεκτρονικών τσιπ, όταν η ταχύτητα του ανέμου λειτουργίας των FFU σταθεροποιείται στα 0,45m/s, ο αριθμός των σωματιδίων είναι ≥0.5μm σε κάθε κυβικό πόδι αέρα μπορεί να ελεγχθεί κάτω από 35 (απόδοση των προτύπων κλάσης 5 ISO).
(IV) Ελέγχος της πίεσης: Ένα κρίσιμο εμπόδιο κατά της διασταυρούμενης μόλυνσης
Η κλίση πίεσης είναι ο πυρήνας για τη διατήρηση της "ενιαίας κατεύθυνσης ροής" μεταξύ καθαρών περιοχών και του εξωτερικού, καθώς και μεταξύ περιοχών με διαφορετικά επίπεδα καθαριότητας:
Προσαρμογή του όγκου του καθαρού αέρα με MAU:Παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο των διαφορών πίεσης μεταξύ καθαρών και μη καθαρών περιοχών (συνήθως 10-30Pa) μέσω αισθητήρων διαφορικής πίεσης,και δυναμική ρύθμιση του όγκου καθαρού αέρα σε σύνδεση με ανεμιστήρες μεταβλητής συχνότητας για να εξασφαλιστεί περιβάλλον θετικής πίεσης (προλαμβάνοντας την εισβολή εξωτερικής ρύπανσης);
Σχεδιασμός ιεραρχικής πίεσης:A pressure difference of 5-10Pa needs to be set between areas with different cleanliness levels (such as ISO Class 5 and ISO Class 7) to avoid air from low-cleanliness areas entering high-cleanliness areas;
Μηχανισμός προστασίας σε περίπτωση έκτακτης ανάγκηςΌταν η διαφορά πίεσης είναι χαμηλότερη από το καθορισμένο όριο, το σύστημα ενεργοποιεί αυτόματα έναν ηχητικό και οπτικό συναγερμό και ενεργοποιεί έναν εφεδρικό ανεμιστήρα για τη διατήρηση της πίεσης,αποτροπή διακοπής της παραγωγής.
ΙΙΙ. Επεξεργαστική εφαρμογή των τεχνολογιών ευφυούς ελέγχου
Ο παραδοσιακός έλεγχος καθαρών δωματίων βασίζεται σε χειροκίνητη επιθεώρηση και χειροκίνητη ρύθμιση, η οποία είναι δύσκολο να αντιμετωπιστεί με δυναμικές αλλαγές φορτίου.Το σύστημα MAU + FFU + DCC επιτυγχάνει "ανθρώπινη" ακριβή διαχείριση μέσω ευφυούς αναβάθμισης:
Κεντρική πλατφόρμα παρακολούθησηςΒασίζεται σε συστήματα PLC ή DCS, ενσωματώντας πάνω από 30 παραμέτρους όπως θερμοκρασία και υγρασία MAU, κατάσταση λειτουργίας FFU και ροή νερού DCC στην διεπαφή HMI,Υποστήριξη οπτικοποίησης δεδομένων σε πραγματικό χρόνο και αναζήτησης ιστορικών καμπυλών;
Αλγόριθμος προσαρμογής:Όταν ανιχνεύεται η έναρξη ή η διακοπή του εξοπλισμού παραγωγής (όπως η ξαφνική αύξηση του θερμικού φορτίου που προκαλείται από την έναρξη των ημιαγωγών μηχανών χαρακτικής),το σύστημα μπορεί να ρυθμίζει αυτόματα την ροή της περιστροφής MAU και την έξοδο DCC εντός 10 δευτερολέπτων για τη διατήρηση της σταθερότητας των παραμέτρων;
Προγνωστική συντήρηση:Με την ανάλυση δεδομένων όπως το ρεύμα του ανεμιστήρα FFU και η διαφορική πίεση του φίλτρου, παρέχεται έγκαιρη προειδοποίηση για βλάβες του εξοπλισμού (όπως μπλοκάρισμα του φίλτρου και γήρανση του κινητήρα), ώστε να αποφεύγεται η ξαφνική διακοπή λειτουργίας.
Βελτιστοποίηση της κατανάλωσης ενέργειας:Η υιοθέτηση αλγορίθμων τεχνητής νοημοσύνης για τη δυναμική αντιστοίχιση του όγκου καθαρού αέρα με το εσωτερικό φορτίο, εξοικονομώντας 20-30% ενέργεια σε σύγκριση με τα παραδοσιακά συστήματα,που είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για μακροχρόνια λειτουργία μεγάλων καθαρών χώρων.
IV. Εφαρμογή και βελτιστοποίηση του συστήματος: Το βασικό βήμα από την κατάρτιση στην αριστεία
Ένα υψηλής ποιότητας σύστημα MAU + FFU + DCC απαιτεί αυστηρές διαδικασίες θέσης σε λειτουργία για την επίτευξη βέλτιστων επιδόσεων:
Ενεργοποίηση με μία μόνο μηχανή
ΑΕΠ:Το εύρος μετατροπής συχνότητας του ανεμιστήρα δοκιμής (συνήθως 30-100 Hz), η αρχική αντίσταση του φίλτρου (πρέπει να είναι ≤ 10% της σχεδιαζόμενης τιμής) και η ταχύτητα απόκρισης προσαρμογής θερμοκρασίας και υγρασίας.
ΕΠΕ:Ελέγξτε κάθε μονάδα για την ομοιότητα της ταχύτητας του ανέμου (αποκλίση ≤±10%), την ακεραιότητα του φίλτρου (μέσω ανίχνευσης διαρροής με σάρωση) και το επίπεδο θορύβου (πρέπει να είναι ≤65dB).
Επικεφαλής:Ελέγχεται η ακρίβεια ρύθμισης της ροής νερού (± 5%) και η απόδοση της θερμικής ανταλλαγής της τροχιάς.
Εγκατάσταση σύνδεσης
προσομοίωση ακραίων συνθηκών εργασίας (όπως υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής υγρασίας το καλοκαίρι, λειτουργία εξοπλισμού με πλήρες φορτίο) για τη δοκιμή και ρύθμιση των επιδράσεων ελέγχου της θερμοκρασίας του συστήματος,υγρασία, καθαρότητα και πίεση,
Χρησιμοποιήστε εξοπλισμό ακριβείας όπως μετρητές σωματιδίων (ελάχιστο ανιχνεύσιμο μέγεθος σωματιδίων 0.1μm) και καταγραφείς δεδομένων θερμοκρασίας και υγρασίας (διάστημα δειγματοληψίας 10s) για την καταγραφή δεδομένων από περισσότερα από 50 σημεία παρακολούθησης στο καθαρό δωμάτιο;
Βελτιστοποίηση των παραμέτρων PID (όπως αναλογικός συντελεστής Kp, ολοκληρωμένος χρόνος Ti) και προσαρμογή του όγκου αέρα και των παραμέτρων ροής νερού των MAU, FFU και DCC ώστε να εξασφαλίζεται η υπέρβαση της ρυθμίσεως της θερμοκρασίας ≤0.3°C και χρόνος ανάκτησης υγρασίας ≤5min.
Συνεχή βελτιστοποίηση
Καθορισμός μοντέλου κατανάλωσης ενέργειας με βάση τα δεδομένα λειτουργίας, ρυθμίζοντας δυναμικά τον αριθμό των λειτουργικών μονάδων ενεργειακής ενέργειας (το 20% έως το 30% μπορεί να κλείσει σε συνθήκες μη πλήρους φόρτωσης) ·
Για να διατηρηθεί σταθερή η αντίσταση του συστήματος, τα φίλτρα πρέπει να αντικαθίστανται τακτικά (πρωτογενή φίλτρα κάθε 1-3 μήνες, φίλτρα μεσαίας απόδοσης κάθε 6-12 μήνες, φίλτρα υψηλής απόδοσης κάθε 2-3 έτη).
Συμπέρασμα: Τεχνολογία που ενδυναμώνει την καθαρή παραγωγή
Η τεχνολογία ελέγχου του συστήματος MAU + FFU + DCC είναι η βασική υποστήριξη για τα σύγχρονα καθαρά δωμάτια για να μετακινηθούν από τη "λειτουργία συμμόρφωσης" στην "ευαίσθητη διαχείριση".Μέσα από τον πολυδιάστατο συνεργατικό έλεγχο της θερμοκρασίας, υγρασία, καθαρότητα και πίεση, σε συνδυασμό με την ενδελεχή ενδυνάμωση των ευφυών τεχνολογιών,το σύστημα μπορεί να παρέχει ένα σταθερό και αξιόπιστο καθαρό περιβάλλον για δραστηριότητες υψηλής τεχνολογίας παραγωγής και επιστημονικής έρευνας.
Ως πάροχος υπηρεσιών που ειδικεύεται στην τεχνολογία καθαρών δωματίων, πάντα στοχεύουμε στην "ακριβότητα παραμέτρων, ενεργειακή απόδοση και νοημοσύνη διαχείρισης",παροχή στους πελάτες λύσεων πλήρους διαδικασίας από το σχεδιασμό συστήματος και την επιλογή εξοπλισμού έως την έναρξη λειτουργίας και τη βελτιστοποίησηΕάν αντιμετωπίζετε τεχνικές δυσκολίες ή έχετε ανάγκες στον έλεγχο του περιβάλλοντος καθαρού δωματίου,Παρακαλούμε να αισθάνεστε ελεύθεροι να επικοινωνήσετε μαζί μας. Θα χρησιμοποιήσουμε την επαγγελματική μας εμπειρία για να βοηθήσουμε τις δραστηριότητες παραγωγής και επιστημονικής έρευνας σας να φτάσουν σε νέα ύψη..