2024-12-04
Στον τομέα των ημιαγωγών, μια τεχνολογική επανάσταση που οδηγείται από νέα υλικά βρίσκεται σε εξέλιξη. Το βαθύ μπλε οξείδιο του γαλλίου, ως ένα εξαιρετικά πολλά υποσχόμενο «ανατέλλον αστέρι» μεταξύ αυτών, έχει ανοίξει νέους δρόμους για την έρευνα και ανάπτυξη ημιαγωγικών συσκευών υψηλής απόδοσης με τις εξαιρετικές του ιδιότητες. Ωστόσο, για να μετατραπεί από εργαστηριακά επιτεύγματα σε μεγάλης κλίμακας βιομηχανική παραγωγή, ένα καθαρό δωμάτιο χωρίς σκόνη που ταιριάζει στα χαρακτηριστικά του είναι απαραίτητο.I. Αυστηρός έλεγχος των επιπέδων καθαρισμού
Η Guangzhou Kunling υιοθετεί διεθνώς κορυφαίες τεχνολογίες φιλτραρίσματος αέρα. Από το πρωτογενές φιλτράρισμα για την αναχαίτιση μεγάλων σωματιδίων σκόνης, στο φιλτράρισμα μέσης απόδοσης για την σύλληψη ακαθαρσιών μεσαίου μεγέθους, και στη συνέχεια μέσω φίλτρων αέρα σωματιδίων υψηλής απόδοσης (HEPA) και φίλτρων αέρα εξαιρετικά χαμηλής διείσδυσης (ULPA) για «διαλογή» στρώμα προς στρώμα, διασφαλίζει ότι ο αέρας που εισέρχεται στο εργαστήριο είναι σχεδόν απαλλαγμένος από ακαθαρσίες, θέτοντας ένα καθαρό θεμέλιο για την παραγωγή ακριβείας.II. Ακριβής έλεγχος της θερμοκρασίας και της υγρασίαςΟι ηλεκτρικές ιδιότητες και η σταθερότητα της κρυσταλλικής δομής των υλικών ημιαγωγών οξειδίου του γαλλίου ποικίλλουν σημαντικά σε διαφορετικά περιβάλλοντα θερμοκρασίας και υγρασίας. Το κατάλληλο εύρος θερμοκρασίας είναι συνήθως κλειδωμένο μεταξύ 22 °C και 25 °C, και η υγρασία διατηρείται στο 40% - 50% σχετική υγρασία (RH). Το εργαστήριο είναι εξοπλισμένο με ένα έξυπνο σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας και υγρασίας. Μέσω αισθητήρων υψηλής ακρίβειας που παρακολουθούν τα περιβαλλοντικά δεδομένα σε πραγματικό χρόνο, συνδέεται με κλιματιστικά, υγραντήρες και αφυγραντήρες για γρήγορη απόκριση και ρύθμιση. Όταν η θερμοκρασία ανεβαίνει στα ζεστά καλοκαιρινά μεσημέρια, η μονάδα ψύξης λειτουργεί αποτελεσματικά για να κρυώσει. όταν είναι ξηρό τον χειμώνα, ο εξοπλισμός ύγρανσης ψεκάζει με ακρίβεια για να αυξήσει την υγρασία, δημιουργώντας ένα «μικροκλίμα» σταθερής θερμοκρασίας και υγρασίας για να διατηρεί τα υλικά και τον εξοπλισμό οξειδίου του γαλλίου στην καλύτερη κατάσταση λειτουργίας και να μειώνει τον κίνδυνο αποκλίσεων στη διαδικασία.
Στην επεξεργασία ημιαγωγών, ο στατικός ηλεκτρισμός είναι ένας «κρυφός δολοφόνος». Τα κυκλώματα των τσιπ βαθύ μπλε οξειδίου του γαλλίου είναι λεπτά και το φαινόμενο εκκένωσης που προκαλείται από τον στατικό ηλεκτρισμό μπορεί εύκολα να καταστρέψει τρανζίστορ και να καταστρέψει τσιπ. Τα υλικά δαπέδου είναι κατασκευασμένα από αντιστατικό PVC ή εποξειδικό αυτοεπιπεδούμενο δάπεδο, με την επιφανειακή αντίσταση να ελέγχεται αυστηρά εντός του εύρους 10^6 - 10^9 ohms για γρήγορη διάχυση του στατικού ηλεκτρισμού. Ο εξοπλισμός και οι πάγκοι εργασίας είναι εξοπλισμένοι με εξοπλισμό εξάλειψης στατικού ηλεκτρισμού και ανεμιστήρες ιόντων φυσούν συνεχώς θετικά και αρνητικά ιόντα για την εξουδετέρωση των φορτίων. Οι χειριστές φορούν αντιστατικά ρούχα εργασίας και καλύμματα παπουτσιών, όντας πλήρως «οπλισμένοι» για την εξάλειψη των κρυφών κινδύνων συσσώρευσης και εκκένωσης στατικού ηλεκτρισμού από την πηγή και την προστασία της ακεραιότητας των προϊόντων.
Ο καλός αερισμός στο εργαστήριο μπορεί όχι μόνο να εξασφαλίσει καθαρό αέρα, αλλά και να βοηθήσει στην εξάτμιση των αποβλήτων αερίων της διαδικασίας και στη διάχυση της θερμότητας για ψύξη. Για συγκεκριμένες διαδικασίες στην παραγωγή οξειδίου του γαλλίου, υιοθετείται ένας συνδυασμός μονοκατευθυντικής ροής και κατανομής αέρα τυρβώδους ροής. Στην περιοχή λιθογραφίας, η κάθετη μονοκατευθυντική ροή με σταθερό ρυθμό ροής (0,3 - 0,5 μέτρα ανά δευτερόλεπτο) μεταφέρει με ακρίβεια τη σκόνη έξω. σε περιοχές όπως η αποθήκευση υλικών και η συναρμολόγηση, έχει ρυθμιστεί αερισμός τυρβώδους ροής για αποτελεσματική αντικατάσταση του αέρα. Τα υλικά για τους αγωγούς αερισμού επιλέγονται λαμβάνοντας υπόψη την πυροπροστασία, την προστασία από τη σκουριά και τους χαμηλούς ρυθμούς διαρροής αέρα. Οι ανεμιστήρες επιλέγονται με ακρίβεια σύμφωνα με την κλίμακα του εργαστηρίου και τη συχνότητα αλλαγών αέρα για να διασφαλιστεί ότι ο όγκος και η πίεση του αέρα είναι κατάλληλα και να διατηρηθεί η εύρυθμη ροή του αέρα και να αραιωθεί η συγκέντρωση επιβλαβών ουσιών.
Η διαδικασία προετοιμασίας του βαθύ μπλε οξειδίου του γαλλίου είναι περίπλοκη και οι μηχανές λιθογραφίας, οι μηχανές χάραξης, ο εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών κ.λπ. ποικίλλουν σε μέγεθος, βάρος και έχουν ειδικές απαιτήσεις για δόνηση κατά τη λειτουργία και απαγωγή θερμότητας. Η διάταξη του εργαστηρίου τηρεί την αρχή της «ομαλής ροής της διαδικασίας και της μη παρεμβολής μεταξύ του εξοπλισμού». Διαχωρίζονται διαφορετικές λειτουργικές περιοχές και ο βαρύς εξοπλισμός τοποθετείται σε περιοχές με καλή φέρουσα ικανότητα και εξαιρετική απορρόφηση κραδασμών. Διατηρούνται κανάλια απαγωγής θερμότητας και εγκαθίστανται συσκευές ψύξης σύμφωνα με τις καμπύλες απαγωγής θερμότητας του εξοπλισμού. Τα διαστήματα μεταξύ του γειτονικού εξοπλισμού είναι λογικά για τη διευκόλυνση της συντήρησης, της λειτουργίας και της αποσφαλμάτωσης, επιτρέποντας την αποτελεσματική σύνδεση του εξοπλισμού και τη σταθερή παραγωγή προϊόντων ημιαγωγών υψηλής ποιότητας.
Οι άνθρωποι είναι ένας βασικός παράγοντας στη λειτουργία του εργαστηρίου, αλλά είναι επίσης μια πιθανή πηγή ρύπανσης. Το προσωπικό που εισέρχεται στο καθαρό δωμάτιο χωρίς σκόνη για βαθύ μπλε οξείδιο του γαλλίου πρέπει να περάσει από μια αυστηρή διαδικασία ένδυσης, από την αφαίρεση σκόνης με αερόλουτρο έως τη φθορά αποστειρωμένων προστατευτικών ρούχων, μασκών και γαντιών, στρώμα προς στρώμα για καθαρισμό. Η επαγγελματική εκπαίδευση πραγματοποιείται τακτικά για την ενίσχυση των γνώσεων των εργαζομένων σχετικά με τις διαδικασίες ημιαγωγών, τους κανόνες λειτουργίας σε καθαρά δωμάτια και την ικανότητα αντιμετώπισης έκτακτων αναγκών. Στους νέους υπαλλήλους παρέχεται πρακτική καθοδήγηση από έμπειρους συναδέλφους για να κατανοήσουν τις λεπτομέρειες του χειρισμού υλικών και της λειτουργίας του εξοπλισμού, μειώνοντας την πιθανότητα μόλυνσης και ζημιάς των προϊόντων που προκαλούνται από ανθρώπινα λάθη.
Η Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., Ltd. βασίζεται στην πλούσια εμπειρία του έργου, την επαγγελματική τεχνική ομάδα και τα προϊόντα καθαρισμού υψηλής ποιότητας για την προσαρμογή λύσεων one-stop σε όλη τη διαδικασία. Από τον προκαταρκτικό σχεδιασμό, την κατασκευή έως την μεταγενέστερη λειτουργία και συντήρηση, θα καταβάλουμε ακριβείς προσπάθειες για να βοηθήσουμε τις επιχειρήσεις να καταλάβουν το υψηλό έδαφος στη βιομηχανία βαθύ μπλε οξειδίου του γαλλίου. Εάν σχεδιάζετε ένα τέτοιο έργο εργαστηρίου ή έχετε ερωτήσεις σχετικά με τις λεπτομέρειες κατασκευής, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας αμέσως και ας συνεργαστούμε για να δημιουργήσουμε ένα νέο μοντέλο καθαρής κατασκευής ημιαγωγών.