Στον προηγμένο τομέα της κατασκευής ημιαγωγών, κάθε μικρή αλλαγή στο περιβάλλον παραγωγής μπορεί να έχει αποφασιστική επίδραση στην ποιότητα του προϊόντος.Ως επαγγελματίας κατασκευαστής με χρόνια εμπειρίας στην βιομηχανία εξοπλισμού καθαρισμού, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. κατανοεί βαθιά την κεντρική θέση του ελέγχου της διαφοράς πίεσης ροής αέρα σε καθαρά δωμάτια ημιαγωγών.Θα αναλύσουμε ολοκληρωτικά τις λύσεις ελέγχου διαφοράς πίεσης ροής αέρα για τα καθαρά δωμάτια ημιαγωγών, βοηθώντας σας να δημιουργήσετε ένα σταθερό και αποτελεσματικό περιβάλλον παραγωγής.
Ο έλεγχος της διαφοράς πίεσης της ροής αέρα: Η βασική γραμμή άμυνας στην παραγωγή ημιαγωγών
Αντιστάθμιση στην Εισβολή των ρύπων
Η διαδικασία κατασκευής των ημιαγωγών είναι εξαιρετικά λεπτή.μπορεί να προκαλέσουν σοβαρά προβλήματα όπως βραχυκυκλώματα και ανοικτά κυκλώματα στα τσιπ.Πάρτε για παράδειγμα τη διαδικασία λιθογραφίας των προηγμένων τσιπ. Το πλάτος της γραμμής στα τσιπ έχει φτάσει στο επίπεδο των νανομέτρων.1 μικρομέτρο είναι αρκετό για να προκαλέσει αποκλίσεις στο μοτίβο λιθογραφίαςΜε την εύλογη κατασκευή της διαφοράς πίεσης της ροής αέρα και τη διατήρηση του καθαρού δωματίου σε κατάσταση θετικής πίεσης, μπορούν να αποκλειστούν αποτελεσματικά οι εξωτερικοί ρύποι,κατασκευή ενός αόρατου προστατευτικού φραγμού για την παραγωγή τσιπ.
Διασφάλιση σταθερής λειτουργίας της διαδικασίας
Η κατασκευή ημιαγωγών περιλαμβάνει μια ποικιλία πολύπλοκων διαδικασιών, όπως λιθογραφία, χαρακτική και ντόπινγκ.και καθαριότηταΗ σταθερή διαφορά πίεσης της ροής αέρα μπορεί να εξασφαλίσει ότι οι περιβαλλοντικές παραμέτροι κάθε περιοχής διατηρούνται πάντα εντός του εύρους που απαιτείται από τη διαδικασία.παρέχοντας μια σταθερή εγγύηση για την ομαλή εξέλιξη της διαδικασίαςΚατά τη διαδικασία χαρακτικής, εάν η ροή αέρα είναι ασταθής, η κατανομή του αερίου χαρακτικής θα είναι άνιση,που οδηγεί σε ασυνεπή ρυθμούς χαλαστικής και επηρεάζει σοβαρά την ακρίβεια χαλαστικής και την ποιότητα του προϊόντος των τσιπ.
Λύσεις ακριβούς ελέγχου διαφορών πίεσης της ροής αέρα για τη δημιουργία ενός καθαρού χώρου παραγωγής
Επιστημονική διαίρεση περιοχών και ακριβής ρύθμιση διαφορών πίεσης
- Κεντρική περιοχή παραγωγής: Οι βασικές διαδικασίες όπως η λιθογραφία, η χαρακτική και η ντόπινγκ πραγματοποιούνται σε αυτόν τον τομέα.Συνιστάται η πίεση στην κύρια περιοχή παραγωγής να είναι 15 - 25 Pa υψηλότερη από εκείνη στις γειτονικές βοηθητικές περιοχές., μειώνοντας έτσι τον κίνδυνο εισβολής εξωτερικών ρύπων και διασφαλίζοντας ότι η διαδικασία κατασκευής των τσιπ δεν διαταράσσεται από ρύπανση.
- Περιοχή βοηθητικής παραγωγής: Βοηθητικές περιοχές όπως η περιοχή προσωρινής αποθήκευσης υλικών και η περιοχή συντήρησης εξοπλισμού, αν και οι απαιτήσεις καθαριότητας είναι ελαφρώς χαμηλότερες από εκείνες της κεντρικής περιοχής παραγωγής,Πρέπει ακόμα να διατηρήσει μια ορισμένη θετική πίεσηΓενικά,είναι 5 - 10 Pa υψηλότερη από τις περιοχές όπως οι συνήθεις διάδρομοι, ώστε να αποφεύγεται η είσοδος ρύπων στους διαδρόμους στην βοηθητική περιοχή και να τεθεί σε κίνδυνο το περιβάλλον της κεντρικής περιοχής παραγωγής.
- Διαδρομές προσωπικού και υλικού: Για τα περάσματα όπου το προσωπικό και τα υλικά εισέρχονται και εξέλθουν από το εργαστήριο, πρέπει να ρυθμίζεται προσεκτικά μια εύλογη κλίση διαφοράς πίεσης για να δημιουργηθεί αποτελεσματικό αποτέλεσμα κλειδώματος αέρα.Όταν μπαίνετε στην καθαρή περιοχή από την μη καθαρή περιοχή, η πίεση αυξάνεται σταδιακά με κάθε πόρτα που περνάει, λειτουργώντας σαν στρώματα σημείων ελέγχου, εμποδίζοντας αποτελεσματικά τους ρύπους να εισέλθουν στο καθαρό δωμάτιο μαζί με το προσωπικό και τα υλικά.
Επιλογή προηγμένου εξοπλισμού για την επίτευξη ακριβούς ελέγχου
- Αισθητήρες πίεσης υψηλής ακρίβειας: Οι υψηλής ακρίβειας αισθητήρες πίεσης που αναπτύχθηκαν ανεξάρτητα από την εταιρεία Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. έχουν εξαιρετικές επιδόσεις.που μπορεί να καταγράψει με ακρίβεια τις αλλαγές πίεσης σε κάθε περιοχή του εργαστηρίου σε πραγματικό χρόνο, διασφαλίζοντας την άμεση ανίχνευση των μη φυσιολογικών διακυμάνσεων της πίεσης και παρέχοντας μια ισχυρή βάση για την έγκαιρη λήψη αντιμέτρων.
- Διανοητικό σύστημα ελέγχου εξαερισμού: Το σύστημα αυτό συνδέεται στενά με αισθητήρες πίεσης υψηλής ακρίβειας.επιτυγχάνεται ευφυής και εκλεπτυσμένος έλεγχος της ροής αέραΜόλις ανιχνεύσει ότι η πίεση σε μια συγκεκριμένη περιοχή είναι χαμηλότερη από την καθορισμένη τιμή, το σύστημα θα αντιδράσει γρήγορα.αυξάνεται αυτόματα ο όγκος τροφοδοσίας αέρα ή μειώνεται ο όγκος καυσαερίων αέρα για να αποκατασταθεί γρήγορα η πίεση στο κανονικό επίπεδο.
Συνολική συντήρηση και διαχείριση για τη συνεχή προστασία της σταθερότητας της διαφοράς πίεσης
Τακτική βαθμονόμηση και συντήρηση για τη διασφάλιση των επιδόσεων του εξοπλισμού
Οι αισθητήρες πίεσης βαθμολογούνται αυστηρά κάθε έξι μήνες για να εξασφαλίζεται η ακρίβεια και η αξιοπιστία των δεδομένων μέτρησης.να διενεργεί τακτικά συνολική επιθεώρηση του εξοπλισμού εξαερισμού, ελέγξτε προσεκτικά αν οι τροχοτροχείς του ανεμιστήρα είναι φθαρμένοι, αν οι βαλβίδες μπορούν να ανοίγουν και να κλείνουν κανονικά κλπ.,και να αντικαθιστά τα παλαιότερα ή κατεστραμμένα εξαρτήματα εγκαίρως, ώστε να εξασφαλίζεται ότι ο εξοπλισμός είναι πάντα στην καλύτερη λειτουργική κατάσταση.
Διενέργεια επαγγελματικής κατάρτισης για τη βελτίωση των ικανοτήτων του προσωπικού
Να πραγματοποιείται συστηματική κατάρτιση για το προσωπικό του εργοστασίου σχετικά με τις γνώσεις ελέγχου της διαφοράς πίεσης της ροής αέρα,να τους επιτρέψει να κατανοήσουν βαθιά τη σημασία του ελέγχου της διαφοράς πίεσης και τις μεθόδους χειρισμού των μη φυσιολογικών καταστάσεωνΌταν εμφανίζεται συναγερμός διαφοράς πίεσης, το προσωπικό μπορεί να αναλύσει γρήγορα τις πιθανές αιτίες, όπως βλάβες εξοπλισμού και διαρροές αγωγών,και να λάβει έγκαιρα αποτελεσματικά μέτρα για τη διασφάλιση της συνέχειας και της σταθερότητας της παραγωγής στο εργοστάσιο.
Επεξεργασία δεδομένων και συνεχής βελτιστοποίηση των λύσεων
Κατασκευή ενός επαγγελματικού συστήματος παρακολούθησης των δεδομένων διαφοράς πίεσης της ροής αέρα και διεξαγωγή σε βάθος ανάλυσης των μακροπρόθεσμων συσσωρευμένων δεδομένων πίεσης.τα πιθανά προβλήματα μπορούν να εντοπιστούν με ευκολίαΓια παράδειγμα, αν η πίεση σε ορισμένες περιοχές κυμαίνεται συχνά, μπορεί να οφείλεται σε βλάβες του εξοπλισμού ή σε αδικαιολόγητη διανομή του αέρα,και στη συνέχεια μπορούν να γίνουν στοχευμένες προσαρμογές βελτιστοποίησης για τη συνεχή βελτίωση των λύσεων ελέγχου της διαφοράς πίεσης της ροής αέρα.
Με βαθιά τεχνική συσσώρευση και πλούσια εμπειρία έργου, η Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroomΕάν σχεδιάζετε να κατασκευάσετε ένα καθαρό δωμάτιο ημιαγωγών ή αντιμετωπίζετε σχετικά προβλήματα κατά τη λειτουργία ενός υπάρχοντος εργαστήρια, παρακαλούμε να αισθάνεστε ελεύθεροι να επικοινωνήσετε μαζί μας.Ας δουλέψουμε μαζί για να δημιουργήσουμε ένα κορυφαίο ημιαγωγό καθαρό περιβάλλον παραγωγής και να συμβάλουμε στην ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών.